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我国光刻机现在属于什么水平 一般多少钱一台?

时间:2021/10/10    

  光刻机是芯片制造过程中的重要机器,现在世界上最顶尖的光刻机仍旧是荷兰的ASML掌握,那么目前我国光刻机现在属于什么水平?价格大概是多少钱一台?具体情况一起去了解。

  据了解,我国光刻机最高技术仍旧是上海微电子研究所的90nm工艺,它的SMEE200系列光刻机、300系列光刻机、500系列光刻机、600系列光刻机只能够达到90nm工艺水平。此前,国内规模最大的半导体企业中芯国际曾发布公告,公司花费12亿美元购买荷兰阿斯麦光刻机。

  光刻机又名掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等,是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术,把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。光刻机是生产大规模集成电路的核心设备,制造和维护需要高度的光学和电子工业基础,世界上只有少数厂家掌握。因此光刻机价格昂贵,通常在3千万至5亿美元。

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